ASML print eerste beelden met high-NA-euv-testmachine en behaalt 10nm-resolutie

0
4

ASML heeft de eerste beelden geprint met zijn high-NA-euv-testmachine in Veldhoven. De geprinte lijntjes hadden voor het eerst een resolutie van 10nm. De huidige euv-machines van ASML hebben een 13nm-resolutie.

ASML: eerste print met high-NA-euv
Bron: ASML

ASML deelt zijn mijlpaal op sociale media. Het bedrijf printte de afbeeldingen nadat de optiek, sensors en stages van de testmachine ‘grof gekalibreerd waren’. Op een foto van ASML is een reeks lijntjes met 10nm afstand tot elkaar te zien. Met de behaalde 10nm-resolutie is nog niet het maximale uit de nieuwe high-NA-machines gehaald. In theorie bieden die machines een resolutie van 8nm. Die resolutie duidt op de omvang van het kleinst mogelijke detail dat geprint kan worden met een lithografiemachine.

Dat ASML 10nm-lijntjes heeft geprint met zijn high-NA-testmachine, wil niet zeggen dat chipfabrikanten high-NA-machines gaan gebruiken voor het produceren van 10nm-chips. De nanometeraanduidingen die chipmakers als TSMC, Intel en Samsung voor hun procedés gebruiken, komen namelijk niet overeen met de daadwerkelijke afmetingen van transistors. De huidige euv-machines van ASML hebben bijvoorbeeld een resolutie van 13nm. Die machines worden ondanks die resolutie onder andere gebruikt voor de 7nm-, 5nm- en 3nm-chips van TSMC. Samsung gebruikt euv ook sinds zijn 7nm-procedés en Intel gebruikte euv voor het eerst in de Intel 4-node.

High-NA wordt de volgende generatie euv-machines. Met een grotere ‘numerieke apertuur’ van 0,55 moet die machine een hogere resolutie voor het printen van transistors bieden dan de huidige euv-machines, die een NA van 0,33 hebben. Dat maakt het mogelijk om kleinere transistors te produceren voor snellere en zuinigere chips.

Naar verwachting is high-NA-euv in 2025 klaar voor massaproductie. ASML zei eerder dat alle euv-klanten ook al high-NA-machines hebben besteld. Daaronder vallen TSMC, Samsung, Intel, Micron en SK hynix. Het bedrijf leverde vorig jaar al een high-NA-testmachine aan Intel. Het maakte deze week bekend dat de tweede testmachine inmiddels ook is geleverd, maar niet duidelijk is aan welk bedrijf.